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晶圆检(jiǎn)测设(shè)备

产(chǎn)品简介(jiè)

采(cǎi)用(yòng)高分辨率成像的(de)明(míng)暗场晶圆表面检测(cè),基于图像算法、检测模型和良品(pǐn)异常检测三种模式,检出晶圆表面缺陷,并提供数据统计分(fèn)析

2D检测精(jīng)确度
um

1

UPH
pcs/h

60

漏检率
ppm

≤50

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